Precursors and defect control for halogenated CVD of thick SiC epitaxial layers
- Författare
- Linköpings universitet Milan Yazdanfar
- (Milan Yazdanfar., Härtill 7 uppsatser, Diss. (sammanfattning) Linköping : Linköpings universitet, 2014, Med sammanfattning på svenska)
- Genre
- Avhandlingar, theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Department of Physics, Chemistry and Biology (IFM), Linköping University | 2014 | Sverige, Linköping | 62 sidor. ill. | 978-91-7519-213-0 |